一、項目概述

 采購單位：天津眾泰新材料有限公司

 采購型號：ZYRO-D-500L 卓水越電子級超純水設備

合作單位

       天津眾泰材料科技有限公司（以下簡稱“眾泰”)，是一家“以先進功能性聚酰亞胺單體研發(fā)生產(chǎn)為核心，致力于推動全球聚酰亞胺材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展”為使命的創(chuàng)新型高新技術企業(yè)。眾泰研制的聚酰亞胺單體目前已廣泛應用于無色透明柔性聚酰亞胺薄膜、柔性顯示材料、5G新材料、光敏聚酰亞胺及半導體材料、新能源汽車特種絕緣材料、航空航天復合材料等諸多高科技領域產(chǎn)品的生產(chǎn)

竣工儀式

二、卓水越電子級超純水系統(tǒng)概述

當今半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需要大量的純水、超純水清洗成品、半成品。集成電路的集成度越高，線寬越窄，對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級超純水為四個等級，分別為EW-I級≥18MΩ·cm，全硅≤2ug/L、EW-II級≥15MΩ·cm，全硅≤10ug/L，EW-III級≥12MΩ·cm，全硅≤50ug/L、EW級≥0.5MΩ·cm，全硅≤100ug/L 以區(qū)分不同的電子級超純水水質(zhì)。其中對于超純水關鍵的指標如：電導率（電阻率）、總硅、PH值、顆粒度、微生物等均由不同的要求。因此線路板、電路板使用純水、超純水因為本身工藝流程的不同對超純水制造的工藝也不同。

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三、卓水越電子級超純水系統(tǒng)工藝流程：

1、預處理系統(tǒng)→一級反滲透→中間水箱→二級反滲透→EDI裝置→氮封水箱→供水泵→TOC降解器→拋光混床→精密過濾器→用水點(≥18MΩ.CM)

四、卓水越電子級超純水系統(tǒng)設備特點：

電子半導體超純水系統(tǒng)通常直接接入國家自來水標準的水為源水，通常有多介質(zhì)過濾器，活性炭過濾器，軟化器等構成預處理系統(tǒng)，另有雙級反滲透主機系統(tǒng)，離子交換混床（EDI電除鹽系統(tǒng)）、超純水儲存裝置、精密過濾系統(tǒng)等構成主要設備系統(tǒng)。系統(tǒng)水箱設有液位控制系統(tǒng)、氮封裝置由供氮閥、泄氮閥、 呼吸閥 組成、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用模塊化組合PLC，及通信遠程輸送至中控室上位機，實現(xiàn)現(xiàn)場就地和集中控制兩種操作方式，降低了人工的操作復雜度和維護工作量等，同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法，或者公司可按照客戶對于水質(zhì)的要求進行特殊定制，既能保證用水水質(zhì)達標，同時降低了所需成本，使該設備與其他同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價比和設備可靠性

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五、卓水越電子級超純水系統(tǒng)適用領域：

1、電解電容器生產(chǎn)鋁箔及工作件的清洗

2、電子管生產(chǎn)、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液

3、顯像管和陰極射線管生產(chǎn)、配料用純水

4、黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)、玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗用純水

5、液晶顯示器的生產(chǎn)、屏面需用純水清洗和用純水配液

6、晶體管生產(chǎn)中主要用于清洗硅片，另有少量用于藥液配制

7、集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片

8、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路

9、LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏

10、高品質(zhì)顯像管、螢光粉生產(chǎn)

11、半導體材料、晶元材料生產(chǎn)、加工、清洗

13、超純材料和超純化學試劑、超純化工材料

六、卓水越電子級超純水系統(tǒng)用水標準：

符合美國ASTM純水水質(zhì)標準、電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標準、美國半導體工業(yè)用純水指標、日本集成電路水質(zhì)標準、國內(nèi)外大規(guī)模集成電路水質(zhì)標準